세정장치

배경 기술

일반적으로 이류체 세정장치는 압축공기에 세정액 또는 드라이아이스 입자를 혼합하여 세정 대상물에 분사하는 장치로, 압축 공기로 추진력을 얻은 세정액 또는 드라이아이스 입자는 세정력을 향상시키는 것으로 알려져 있습니다. 그러나 종래 이류체 세정장치는 세정과정에서 제거된 이물들이 기류에 의해 발생된 복잡한 와류와 함께 이동하면서 세정대상물이 재오염되는 경우가 많아, 효과적인 세정 공정을 위해 재오염을 방지할 수 있는 포집 기술의 병합이 요구되었습니다.

해결하려는 과제

• 구조를 개선한 세정장치 제공
• 기류제어가 가능한 세정장치 제공
• 재오염을 방지하는 세정장치 제공

구성

본 발명의 세정장치는 다음과 같은 구성을 포함합니다.

• 장치본체: 내부에 유동공간을 가짐
• 인렛: 분사노즐이 연결되어 유동공간으로 분사체가 유입
• 세정부: 분사체에 의한 세정대상물의 세정이 이루어지도록 유동공간과 연통되며 개방 형성
• 아웃렛: 세정부를 거친 기류가 유동공간을 거쳐 외부로 배출
• 유동분리관: 인렛으로부터 유입되는 분사체를 세정부로 가이드하며, 인렛에서 세정부로 향하는 제1기류와 세정부에서 아웃렛으로 향하는 제2기류를 구획
  • 내면 내측: 제1기류가 유동하는 제1공간
  • 외면 외측 둘레: 제2기류가 유동하는 제2공간
• 가이드관: 유동분리관 내측에 배치되어 인렛과 연결, 유동분리관과의 사이에 갭 형성
• 유입공: 장치본체 외부로부터 공기가 유입되며 갭을 통해 제1공간과 연결되어, 유입 공기가 제1기류를 따라 이동하도록 하여 유동공간 내 압력을 조절

장치본체는 제1~3바디로 분리 결합 가능한 모듈형 구조(제1바디: 인렛+가이드관, 제2바디: 유동분리관, 제3바디: 공간형성부+세정부+아웃렛)로 구성되어 유지보수 및 교체가 용이합니다. 다른 실시예에서는 유동분리관이 원뿔대 형상으로 형성되어 세정대상물의 분사구 내경 변화에 대응할 수 있습니다.

효과

• 기류제어를 통해 피세정부분에 대한 재오염 방지
• 구조 개선을 통한 세정대상물에 대한 세정효율 향상
• 유동분리관에 의한 기류 구획으로 유동공간 내 기류간 충돌로 인한 와류 및 기류정체 방지
• 모듈형 바디 결합구조로 내구성 유지 및 유지보수 용이